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  • [行业新闻] 合金靶材的溅射原理

    合金靶材的溅射原理:对溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的
    发布时间:2016-03-29   点击次数:185

  • [技术中心] 合金靶材溅射靶材使用指南及注意事项

    一、溅射准备保持真空腔体尤其是溅射系统洁净是非常重要的。任何由润滑油和灰尘以及前期镀膜所形成的残留物会收集水气及其他污染物,直接影响真空度获得和增加成膜失败的可能性。短路或靶材起弧,成膜
    发布时间:2016-03-29   点击次数:705

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